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灯泵浦YAG激光划片机
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灯泵浦YAG激光划片机工作原理
灯泵浦YAG激光划片机是利用Z型谐振腔的Nd:YAG激光器的激光,经声光Q开关调制发射波长为1064nm直径ф6的激光光束,该激光光束经扩束后输出到反射镜反射到聚焦镜,由其聚焦到工件材料表面,使被照射区域局部熔化、气化,而后形成沟槽,从而达到划片的目的。
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灯泵浦YAG激光划片机特点 |
◆ 输出功率大,激光功率连续可调
◆ 光束细、热影响区小
◆ 切口平整、光滑、无裂纹
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划片精度高、速度快、性能稳定
◆ 友好的人机界面,可实时显示切割轨迹,操作简单
◆ 非接触式加工,工件不易变形,加工过程废片率极低
◆ 环保,节能
本机采用先进的激光应用技术,选用二维高精度电动平移台,PC控制,操作结构合理,工作效率高,是一款综合性价比极高的激光划片设备。
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行业应用 |
广泛应用于太阳能电池行业和半导体行业,可对单晶硅、多晶硅、非晶硅,金属材料及硅、锗、砷化钾等半导体材料进行划片和切割,也可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等。
灯泵浦YAG激光划片机技术参数 |
机型 |
HP-HC-50 |
最大激光功率 |
50W |
激光重复频率 |
≤50KHZ |
激光波长 |
1064nm |
最大划片深度 |
0.4mm |
划片线宽 |
0.05—0.1mm(视材料可调) |
划片精度 |
≤±0.01mm |
重复精度 |
0.01mm |
最大划片速度 |
40mm/s |
工作台行程 |
200mm×200mm(可选配) |
工作台移动精度 |
0.03mm |
冷却方式 |
循环水冷 |
电力需求 |
380V/三相/50HZ/25A |
整机耗电功率 |
≤5KW |
系统外型尺寸(长×宽×高) |
主机系统 |
1400mm×420mm×1270mm |
控制系统 |
530mm×550mm×780mm |
冷却系统 |
700mm×530mm×910mm |
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灯泵浦YAG激光划片样品 |
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